工艺导向：根据生产流程（如光刻→蚀刻→封装）划分洁净等级。
动态污染控制：兼顾空态、静态、动态下的洁净度稳定性。
模块化设计：预留扩展接口，适应未来技术升级。
节能合规：符合ISO 14644、GB 50472及行业特殊标准（如SEMI）。
| 功能区 | 推荐洁净等级 | 关键要求 |
|---|---|---|
| 核心工艺区 | ISO 3~5级 | 单向流层流、AMC控制、防微震 |
| 辅助生产区 | ISO 6~7级 | 防静电、温湿度±1℃ |
| 物料缓冲间 | ISO 7~8级 | 传递窗带自净功能 |
| 人员更衣区 | ISO 8级 | 风淋室（喷口风速≥20m/s） |
| 部位 | 材料 | 规格 |
|---|---|---|
| 墙面/天花板 | 玻镁彩钢板 | 50~75mm厚，防火A级，抗菌涂层 |
| 地面 | 防静电环氧自流坪 | 厚度2~3mm，表面电阻10⁶~10⁹Ω |
| 门窗 | 不锈钢密闭门+双层玻璃窗 | EPDM密封条，自动闭门器 |
防静电区：离子风机、防静电窗帘（PVC）。
高湿区：不锈钢墙板（316L）+防霉密封胶。
| 组件 | 技术要求 |
|---|---|
| 高效过滤器 | HEPA H13-H14（半导体需ULPA U15） |
| 风机 | EC变频风机（节能30%以上） |
| 冷热源 | 精密空调（±0.5℃精度）+ 冷水机组 |
| 风管 | 镀锌钢板（内壁抛光），风速8~10m/s |
单向流：ISO 5级及以上区域，垂直层流风速0.45±0.1m/s。
非单向流：ISO 6~8级，换气次数15~50次/小时。
照明系统：
洁净LED平板灯（300~500lux），嵌入式安装。
防静电系统：
铜箔接地网（网格间距≤3m）+ 离子风机。
智能监控：
实时监测粒子数、温湿度、压差，超标自动报警。
阶段1：基础施工
地面找平 → 彩钢板隔墙安装 → 风管铺设。
阶段2：净化系统安装
HVAC系统调试 → 高效过滤器检漏 → FFU安装。
阶段3：验收测试
空态测试（NCR）→ 静态测试（SCR）→ 动态测试（OCR）。
| 项目 | 测试方法 | 合格标准 |
|---|---|---|
| 洁净度 | ISO 14644-1 | 粒子数符合设计等级 |
| 高效过滤器检漏 | EN 1822 | 泄漏率≤0.01% |
| 防静电 | ANSI/ESD S20.20 | 地面电阻10⁶~10⁹Ω |
| 噪声 | GB 50073 | ≤65dB（A） |
| 洁净等级 | 单价（元/㎡） | 备注 |
|---|---|---|
| ISO 5级 | 3500~5000 | 含FFU、AMC控制 |
| ISO 7级 | 1500~2500 | 防静电环氧地坪+HEPA |
| ISO 8级 | 800~1500 | 基础彩钢板+中效过滤 |
增配：
化学过滤器（控制NH₃、HCl）。
微振动隔离地基（振幅＜0.5μm）。
重点：
湿度精准控制（40±5% RH）。
锡膏印刷区局部ISO 5级层流罩。
特殊要求：
防爆设计（排风系统、电气防爆）。
粉尘浓度监测（＜1mg/m³）。
定期维护：
初效过滤器1月更换，高效过滤器2年检漏。
人员培训：
洁净室行为规范（如禁止奔跑、裸手操作）。
持续优化：
通过EMS系统分析能耗数据，降低运行成本。
注：具体方案需结合厂房图纸、工艺流程图及预算调整，建议委托专业洁净工程公司（如中电二公司、苏净集团）进行深化设计。
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